真空熱處理爐在負壓情況下的Z高溫度為九十三攝氏度左右，鍋爐的出水溫度Z高在八十攝氏度左右，所以如果需要出水溫度更高一些的情況時，應使用其他可以出水溫度高的其他鍋爐。真空熱處理爐的熱交換器管徑在10毫米左右，管內雖然不會有污垢附著，但是系統雜質還是有阻塞管子的可能。真空熱處理爐所以應當在鍋爐的回水管前安裝過濾器和除污染源器。真空熱處理爐要根據系統的運行壓力情況，確定系統的承壓參數，保證機組的工作壓力可以正常運行。
真空爐的結構、溫度控制、加熱工藝和爐內氣氛等，都會直接影響真空爐生產后的產品質量。在鍛造加熱爐內，提高金屬的溫度，可以降低融化阻力，鋼化真空爐但溫度過高會引起晶粒氧化或過燒，嚴重影響真空爐內的產品質量。在熱處理過程中，如果把鋼鐵加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然使用冷卻發冷卻，真空熱處理爐就能提高鋼的硬度和強度;如果加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼更富有韌性。
為了獲得表面光潔和尺寸準確的工件，或者為了減少金屬氧化以達到保護模具、減少加工余量等目的，可以采用各種少無氧化加熱爐。在敞焰的少無氧化加熱爐內，鋼化真空爐利用燃料的不完全燃燒產生還原性氣體，在其中加熱工件可使氧化燒損率降低到0.6%以下。
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